A new detecting technique-correction technique for datum in submicron DSW is introduced from the basic point of view.
本文从最基本的角度出发，介绍了亚微米分步重复投影光刻机中的一项新的检测技术——基准校正技术。
A new detecting technique-correction technique for datum in submicron DSW is introduced from the basic point of view.
本文从最基本的角度出发，介绍了亚微米分步重复投影光刻机中的一项新的检测技术——基准校正技术。
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