et former une source et un drain et une structure de motif en bandes qui connecte la source et le drain;
并形成源漏和连接源漏的细条状的图形结构；
et former une structure de source et de drain par implantation ionique et recuit à haute température; et finalement préparer un transistor à effet de champ à nanofils.
通过离子注入和高温退火，形成源漏结构，最终制备出纳米线场效应晶体管。
et former une structure de source et de drain par implantation ionique et recuit à haute température; et finalement préparer un transistor à effet de champ à nanofils.
通过离子注入和高温退火，形成源漏结构，最终制备出纳米线场效应晶体管。
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