In the motion of semiconducting equipment, better digital PID control parameters can improve stability and reliability of equipment. Using separate integral arithmetic can get optimal PID control.

在半导体设备运动过程中，有效的调节数字PID控制参数可以提高设备运动的稳定性和可靠性，利用积分分离的算法来实现具有最佳组合的PID控制。

youdao

In the motion of semiconducting equipment, better digital PID control parameters can improve stability and reliability of equipment. Using separate integral arithmetic can get optimal PID control.

在半导体设备运动过程中，有效的调节数字PID控制参数可以提高设备运动的稳定性和可靠性，利用积分分离的算法来实现具有最佳组合的PID控制。

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