The principle, specifications and performance of the silicon piezoresistive element are presented.
介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点。
A finite element model was used to optimize the parameters for a surface-stress sensitive piezoresistive microcantilever sensor.
为获得用于 表面应力测量的压阻悬臂梁 传感器的参数的优化方法，建立了有限元分析模型。
A finite element model was used to optimize the parameters for a surface-stress sensitive piezoresistive microcantilever sensor.
为获得用于 表面应力测量的压阻悬臂梁 传感器的参数的优化方法，建立了有限元分析模型。
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