The design of common optical path structure improves the resistance to environment vibrations and temperature turbulence.
在文中分析了多波长干涉术用于小尺寸测量的基本原理，提出了共光路的设计结构。
The design of common optical path structure improves the resistance to environment vibrations and temperature turbulence.
在文中分析了多波长干涉术用于小尺寸测量的基本原理，提出了共光路的设计结构。
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