The invention can prevent the damage to the protective layer by forming a polymer layer pattern in the insulating interlayer on at least one side of the uppermost layer metal line.
本发明可以通过形成在层间绝缘层中并且位于顶层的金属线的至少一侧的聚合层图案而避免保护层的损坏。
The invention relates to an organosilicon polymer and a film forming method thereof on a metal surface.
本发明涉及一种有机硅聚合物及其在金属表面成膜的方法。
The invention relates to an organosilicon polymer and a film forming method thereof on a metal surface.
本发明涉及一种有机硅聚合物及其在金属表面成膜的方法。
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