All patterns in the standard cells having the second indicator are transferred to a second mask of the double patterning mask set.
以及将所述第二图案组中的图案转印到所述双图案掩模组的第二掩模。
All patterns in the standard cells having the second indicator are transferred to a second mask of the double patterning mask set.
以及将所述第二图案组中的图案转印到所述双图案掩模组的第二掩模。
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