Oxygen ions from a cold cathode ion-gun have been used tor bombarding the growing thin films.

用一个冷阴极离子枪产生的氧离子轰击淀积过程中的薄膜表面。

youdao

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用一个冷阴极离子枪产生的氧离子轰击淀积过程中的薄膜表面。

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