An electron beam does not diffract at atomic scales, so it does not cause blurring of the edges of features.

由于电子束在原子尺度不会绕射，所以它不会使得图案细节的边缘模糊。

youdao

An electron beam does not diffract at atomic scales, so it does not cause blurring of the edges of features.

由于电子束在原子尺度不会绕射，所以它不会使得图案细节的边缘模糊。

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