并将PMAC的标志控制口改作为通用I/O口，在此基础上进行了硅片传输机器人的气动控制回路的设计。
The flags of PMAC is used as the general I/O interface and the pneumatic control loop of the wafer robot is designed.
并将PMAC的标志控制口改作为通用I/O口，在此基础上进行了硅片传输机器人的气动控制回路的设计。
The flags of PMAC is used as the general I/O interface and the pneumatic control loop of the wafer robot is designed.
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