纳米加工是纳米技术的核心，也是实现下一代纳米器件的关键。
Nanofabrication is the key issue of nanotechnology, and also the critical event of achieving the invention of nanometer device.
利用扫描探针显微镜(SPM)能够实现纳米级电子器件和机械器件的加工。
Nanofabrication in electrical field by Scanning Probe Microscope (SPM) can fabricate electrical devices and mechanical structures in nanometer scale.
中心的研究方向，主要从事微纳米加工技术、微纳米材料以及微纳米器件与系统的研究与应用，并为国内外产业及研究机构服务。
Thee current research fields of the center are micro and nano fabrication technologies, micro and nano materials, and micro and nano systems.
中心的研究方向，主要从事微纳米加工技术、微纳米材料以及微纳米器件与系统的研究与应用，并为国内外产业及研究机构服务。
Thee current research fields of the center are micro and nano fabrication technologies, micro and nano materials, and micro and nano systems.
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