1991年9月-1994年7月 吉林大学集成光电子国家重点实验室理学硕士，1995年9月-2000年3月 哈尔滨工业大学物理与电子学专业工学博士。1994.7--2000.6　哈尔滨工业大学航天学院微电子专业讲师;2000.6---2001．6 上海微系统与信息技术研究所，传感技术国家重点实验室博士后，2001.6---2002.4 香港科技大学机械系访问学者，2002.4到目前 博士后出站留中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，2004.7月中国科学院上海微系统与信息技术研究所副研究员。从事微纳机电系统、微纳米材料物性和微纳米器件测试分析。