SOI材料 百科内容来自于: 百度百科

这类材料是为了适应航空航天电子、导弹等武器系统的控制和卫星电子系统的需求而发展起来的。SOI材料具有以下突出优点:1、低功耗;2、低开启电压;3、高速;4、提高集成度;5、与现有集成电路完全兼容且减少工艺程序;6、耐高温;7、抗辐照从而减少软件误差。这些优点使得SOI技术在绝大多数硅基集成电路方面具有极其广泛的应用背景,从而受到世界各大集成电路制造商和各国政府的高度重视,被国际上公认为“21世纪的硅基集成电路技术”。
SOI是“Silicon-on-insulator”的简称,中文译为“绝缘体上的硅”。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面,都具有重要应用。
上世纪90年代末,IBM大规模开展SOI技术的民用化,SOI被广泛用于超速计算机服务器中,同时带动国际上一批著名的跨国公司进入这项技术的开发。目前SOI技术已开始在世界上被广泛使用,SOI材料约占整个半导体材料市场的30%左右,预计到2010年将占到50%左右的市场。Soitec公司(世界最大的SOI生产商)的2000年~2010年SOI市场预测以及2005年各尺寸SOI硅片比重预测了产业的发展前景。
2008年12月,在上海新傲科技有限公司研发平台上,通过技术创新,制备出我国第一片8英寸键合SOI晶片,实现了SOI晶片制备技术的重要突破。
SOI绝缘硅英国ICEMOS代理—北京特博万德公司
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北京特博万德科技有限公司独家代理英国ICEMOSTECH的高品质SOI wafer和 SuperJunction MOSFET。
SOI wafer尺寸: 4”(100mm), 5”(125mm), 6”(150mm)and 8"(200mm)
SOI Spec. 规格:
1- Bonded SOI wafer (绝缘硅上键合硅片)
For 4”(100mm), 5”(125mm), 6”(150mm)
---- Handle wafer minimum 300um maximum 1000um,
---- Buried Oxide, minimum 0.1 um, maximum 4 um,
---- Device layer minimum 2 um, max 500 um.
For 8"(200mm)
---- Handle thickness minimum 500um and maximum 675um,
---- Buried Oxide minimum 0.1 um, maximum 4 um,
---- Device layer minimum 5 um, maximum 500 um.
2- Si-Si direct wafer bonding (replacement for epi) 硅-硅直接键合,可替代外延片
100mm, 125mm, 150mm and 200mm, thickness as specified above.
3- Engineered SOI, Double SOI (DSOI), Trench Isolation SOI (dielectric isolation),
Cavity SOI (for pressure sensor, gyro and accelerometer sensor, microfludic etc.)
and finally Through Silicon Via (TSV)
---- Cavity SOI - Bonded SOI or Silicon silicon DWB wafers with cavities performed within the wafer
---- Multiple SOI 2 or 3 or more layers of SOI designed around your process
---- Structured wafers silicon wafers or SOI with buried electrode layers, vias, interconnect already incorporated
4- SOI + Trench & Refill
Features
Significant die shrink compared to conventional dielectric isolation
(DI) or junction isolation
Bulk quality top silicon layer
Total device-to-device isolation
Lower substrate capacitance than bulk
Fully flexible specification on SOI, Trench and refill parameters
5- Superjunction MOSFET
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- 来自原声例句
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