微机械是指利用半导体技术（特别是平板印制术，蚀刻技术）设计和制造微米领域的三维力学系统，以及微米尺度的力学元件的技术。它开辟了制造集成到硅片上的微米传感器和微米电机的崭新可能性。
微电子机械系统
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微电子机械系统（姜岩峰编著图书）
本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
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