中国科学院太赫兹固态技术重点实验室依托：中国科学院上海微系统与信息技术研究所。

2010年9月19日，中科院高技术研究与发展局对中国科学院上海微系统与信息技术研究所申报的“中国科学院太赫兹固态技术重点实验室”进行了现场评审。中科院上海微系统所长王曦院士对专家组的到来表示热烈欢迎。评审会上，专家们听取了太赫兹固态技术实验室主任曹俊诚研究员关于实验室定位、代表性成果、队伍与人才、合作交流与运行管理等方面的总体报告，孙晓玮研究员等分别作的学术报告。专家组实地考察了实验室的硬件建设、科研条件和运行情况，认真审阅了实验室的申请书和相关材料。经过认真评审，专家组对实验室的定位、取得的成果、人才队伍建设、学术交流、运行机制等情况给予了客观、公正的评价和充分的肯定，对实验室存在的问题提出了中肯的意见和建议。最后，王曦代表全所对各位专家的辛勤工作表示感谢，并表示微系统所将积极配合实验室认真研讨落实专家组提出的建议，大力支持实验室的建设，争取使其早日进入院重点实验室行列。