竹科停看听 (HSIP_job_info) ... ET: Etch , 蚀刻制程 LIT: Litho or Photo , 黄光制程 DF: Diffusion , 扩散制程 ...
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黄光段湿制程设备 TP
黄光段干制程设备 TP-CF
黄光制程
Yellow light process
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铜电极偶制备步骤，为利用黄光微影制程制作出相对间距为数微米的铜电极 偶。
The copper electrode couple preparation step prepares the copper electrode couples with a plurality of micrometers of relative spacing by a yellow-light photolithography process.
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