工业级的真空系统多半附有一个副真空 装卸腔，一般命名为“负荷固定舱”或“预真空锁”(Load Lock)，它的作用是将被镀物先行载入后做预抽“低真空 度”的动作，例如使用机械泵抽至10 -3 Torr，再打开主要工 作腔与负荷固定舱之间...
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预真空锁
Prevacuum lock
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