在掩模固定的位置，设有预对准标识。预对准是由两个发光二极管及其对应的光探测器组成。
收纳容器的环箍14 的3 个环箍载置台15、预对准(pre-alignment) 从环箍14 搬出的晶片 W 的位置的取向器(orienta)16 和对实施了RIE 处理的晶片W 实施清洗处理的超流动清洗
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主要研究内容是研制用于12英寸晶圆预对准的系统。
The main content of the research is to design and manufacture a system that is fit for 12-inch wafer pre-aligning.
介绍投影光刻机设备的晶片传输系统中切边探测和晶片预对准技术。
Mostly introduction the of detection and the of prealignment technology of the Wafer Loader system in the Projection-Lithography equipment.
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。
High-precision prealigner is a crucial component in wafer transport device for modern photolithographer.
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