電漿蝕刻
Plasma etching
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实验上，我们采用全像微影术、电浆蚀刻以及旋镀铁氟龙的方式来制作试片，并量测该试片的反射频谱和接触角。
We fabricate desired structured surfaces by holographic lithography, plasma etching and Teflon coating. The performance is evaluated by measuring the reflectance spectrum and contact angle.
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