【中文摘要】 金属蒸汽真空弧(MEVVA)源离子注入和脉冲高能量密度等离子体(PHEDP)是材料新型低温表面改性载能离子技术,具有工艺简单、改性层与基体结合紧密等特点。
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提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。
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金属蒸汽真空弧离子源 MEVVA
采用金属蒸汽真空弧 metal vapor vacuum arc ; MEVVA
然后用金属蒸汽真空弧 metal vapour vacuum arc ; MEVVA
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