2:通过金属层来接合(wafer bonding)磊晶层和衬底,同时反射光子,制止衬底的吸取。 3: 导电的Si 衬底代替GaAs 衬底,具备精良的热传导本领(导热系数相差3~4 倍),...
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通过金属层来接合
Bonded by a metal layer
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