输出的固有频率
Natural frequency of the output
以上为机器翻译结果，长、整句建议使用 人工翻译 。
基于MEMS技术的硅微谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器，它通过检测物体的固有频率间接测量压力，为准数字信号输出。
Miniature silicon resonant pressure sensor based on MEMS, which has the highest precision for frequency output, measures pressure by detecting the natural frequency of some object.
youdao
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动