本文描述了应用程序的薄膜体声波谐振器（TFBAR）作为气体传感器的工作频率大约为2千兆赫。该传感器由一个牢固地安装薄膜的ZnO谐振器制作在硅衬底上覆盖的气体敏感聚合物受体。
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...谐振器压电多层板结构振动分析 王骥 柳建松 杜建科 黄德进 【摘要】： 正薄膜体声波谐振器(film bulk acoustic resonator,FBAR)作为一种新型压电声波器件,在GHz频率段以及要求谐振器元件与电路的较好兼容的无线通讯系统中越来越受到...
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高模薄膜体声波谐振器 HBAR
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