薄片清扫
Wafer cleaning
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和对该过滤网进行清扫的过滤装置，该过滤装置使用薄片作为使附着到所述过滤网上的灰尘从所述过滤网分离的灰尘分离构件。
The filter device has a dust separation member for separating dust adhered to the filter net from the filter net. The dust separation member is made from a sheet.
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