它包括工艺、计量、自动材料处理系统（AMHS）和后段设备。接下来是集成层，其中设备与fab之间的桥接是通过站点控制器的实施来提供的。
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自动材料处理系统
Automatic material handling system
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机器和原材料处理系统构成了传统的自动化的心脏。
Machines and material handling systems make up the traditional heart of automation.
youdao
方法以昆明种小鼠为材料，从行为学角度，利用跳台、避暗及水迷宫计算机自动分析处理系统检测小鼠的学习记忆能力。
Methods:The effects of alcoholic extract and watery extract of Renru on the memory of mice were evaluated by step down test.
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