然而最成功的应属代理商汉民系统，转投资汉民微测及汉辰科技，切入缺陷量测（Defect Inspection）及离子布值（Ion Implant），并推出自有品牌设备，除了已经顺利销售到台积电、联电、茂德等台湾晶圆制造业者外，也顺利外销到其它...
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表面缺陷测量 surface-defaults detection
缺陷量测
Defect measurement
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质量度量，包括性能、可量测性，以及可支持性度量，另外还有传统的缺陷度量。
Quality measures, including performance, scalability, and supportability measures in addition to traditional defect measures.
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