薄膜硬度（H）和弹性膜量（E）用纳米压入仪（Nano Indenter xP）来测量，采用Berkovich三棱锥压头， 压头尖端的曲率半径大约为50 nm，载荷和位移精度 分别为50 nN和0．01 nm，在最大加载恒定载荷...
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协作 中文名称 纳米压入仪 英文名称 Nano Indenter Instrument 仪器分类 物理性能测试仪器 - 力学性能测试仪器 - 其他 仪器型号 Nano Indenter XP 生产厂商 美国MTS系统公司 认证情况
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超纳米压入测试仪 UNHT
Nanoindentor is a modern instrument, which can provide a precise control and accurate measurement of indentation depth.
纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器。
参考来源 - 对几种薄膜硬度测试方法的评定·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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