confined etchant layer technique
...三维微结构，使铝在微机电系 统中的应用受到极大限制，因此，必须寻找一种新的三维微结构的加工方法． 约束刻蚀剂层技术（CELT）是我们提出的一种新型的电化学微加工技术¨卜171，该技术在加工复杂 三维微结构方面具有独特的优点，其基本原理可简述如下：在溶液...
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约束刻蚀剂层技术
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