离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。
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协作 中文名称 离子注入机 英文名称 PRODUCTION ION IMPLANTER 仪器分类 工艺实验设备 - 电子工艺实验设备 - 半导体集成电路工艺实验设备 仪器型号 CF-3000 生产厂商 美国 TECHLINK 认证情况 基于3个网
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本发明涉及一种离子注入机用的晶片夹，属于半导体装备制造领域。
The invention relates to a wafer clamp for an ion implanter which belongs to the field of semiconductor equipment manufacture.
简单介绍了典型离子注入机的组成，分析了离子注入机中扫描技术的重要性。
Introduced the configuration of typical ion implanter, analyzed the importance of the implantation mechanical scanning technology.
垂直扫描机构是单晶片离子注入机靶盘的支撑部件，起着将高速直线运动从靶室外传递到靶盘的作用。
Vertical scanner is the supporting part of a series process ion implanter, which transfer high speed movement from outside of the chamber to the target inside.
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