【离子束清洗】

离子束清洗

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ion clearing process

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从离子束清洗、离子束辅助沉积以及离子束后处理三个方面，介绍了离子束辅助技术在高功率激光薄膜中的应用背景、应用优势以及存在的问题。

Prom ion cleaning, ion-assisted deposition and ion post treatment, the application background, merits and the problems of ion assisted technology for high power laser films are introduced.

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