磊晶矽晶圆 (Epi Wafer ) 即在高纯度半导体等级之抛光矽晶圆上，运用化学沈积法生成不同厚度的高纯度磊晶。
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与此同时，还有另外19家新的晶圆厂目前正在兴建中，18家建置中的LED晶圆厂将同时采用磊晶矽晶圆(Epitaxial Wafer)和晶片。因此这也意味著，在中国大陆将会有48家的LED晶圆厂从事磊晶矽晶圆制程。
磊晶矽晶圆
Epitaxial silicon wafer
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