hafnium silicate
... alkyl silicates 烷基硅酸盐 hafnium silicates 硅酸铪 hydrous alumino silicates 含水铝硅酸盐 ...
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在先栅方案中，用Al基(PMOS)和La基(NMOS)覆盖层来调整氧化铪(HfO2)和硅酸铪(HfSiOx)高k和氮化钛(TiN)金属栅的Vt。在替代栅方案中，根据其功函数对几种材料进行筛选。
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