硅V型槽
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硅v型槽
Silicon v slot
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硅V形槽（silicon V-groove chips）是利用单晶硅各向异性的特性制作的。通过晶面自然解理形成的V型槽侧壁光滑、线条笔直，水平间距精度高（小于0.5微米），无精密机械加工的累计误差，非常适合于放置光纤并精密定位，能和光电子器件的间隔严格匹配，垂直方向在同一条高度上，大大减少了光电子器件和光纤耦合对准的损耗。由于采用与微电子类似的微机械生产技术（MEMS技术），并行生产工艺保证了高品质、大批量、低成本。
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