《真空科学与技术学报》创刊于1981年，是由中国科学技术协会主管、中国真空学会主办、北京北仪创新真空技术有限责任公司承办、兰州真空设备有限责任公司副承办的信息科技学术期刊。 据2018年5月《真空科学与技术学报》编辑部官网显示，《真空科学与技术学报》编辑委员会拥有编委40人。 据2018年5月26日中国知网显示，《真空科学与技术学报》共出版文献4862篇、总被下载549757次、总被引18236次，（2017版）复合影响因子为0.697，（2017版）综合影响因子为0.505。据2018年5月26日万方数据知识服务平台显示，《真空科学与技术学报》载文量为3335篇，被引量为14284次，下载量为100233次；影响因子为0.76。