垂直曝光 vertical exposure

薄片上步进式直接曝光 direct step on wafer

直接接触曝光 direct-contact exposure ; contact exposure

直接曝露 direct exposure

直接曝灵胶卷 direct-exposure film

直接曝露屏蔽 shield directional exposure

薄片上步进式直接曝 direct step on wafer