首先由RP泵从大气 压状态到10Pa左右进行第一阶段排气,此时的真空度有Pirani(皮喇尼)真空计确认。保持RP泵的运行状态然后再启动TMP,真空泵的压力由在真空 状态下可以使用的电离真空计来监控。
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皮喇尼真空计 pirani gage
皮喇尼
Pirani
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