这通常是指利用电子的回旋共振作用来进行测试的一种技术。
关键词 : 电子回旋共振 ;化学气相沉积 ; 氮化铝薄膜 [gap=6376]Key words : electron cyclotron resonance ( ECR) ; chemical vapor deposition ; AlN film
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用等离子体化学气相沉积（PECVD）、磁过滤阴极电弧沉积（FCVA）、微 波电子回旋共振（MwEcR），均能实现有较多高能离子的沉积离子流。考虑到 在si衬底上添加有一层有机层，在本论文研究中采用了后两种方法。
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电子回旋共振加热 electron cyclotron resonance heating ; ECRH
电子回旋共振离子源 ECRIS ; electron cyclotron resonance ion source
封闭式电子回旋共振 MCECR
分布式电子回旋共振 DECR ; distributed electron cyclotron resonance
微波电子回旋共振 MWECR
电子回旋共振推力器 Electron Cyclotron Resonance Thruster ; ECRT
电子回旋共振离子的源 ECRIS
了电子回旋共振 Electron Cyclotron Resonance ; ECR
对电子回旋共振 electron cyclotron resonance ; ECR
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采用微波电子回旋共振磁过滤弧设备制备钛氧薄膜。
Ti-O film was prepared by microwave-electron convolute resonance (MW-ECR) magnetron filter arc deposition process.
介绍了电子回旋共振（ECR）波的传播与吸收的数值求解方法。
The numerical method for resolving the wave propagation and absorption of the electron cyclotron resonance(ECR) is proposed.
微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。
The microwave electron cyclotron resonance (ECR) plasma is one of the most important means for depositing thin films and microfabrications as well as surface modifications of materials.
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