electronics and microelectronics manufacturing
Microsystems and Microelectronics 微系统与微电子 Electronics and Microelectronics Manufacturing 电子和微电子制造 School of Physics and Microelectronics 物理与微电子学院 ..
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微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。
Micro electro mechanical systems (MEMS) are the micro mechatronics fabricated by microelectronic technology and micromachining.
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