因此本研究将采取一种新 式的制作法，即灰阶光罩(Gray Mask)技术。灰阶光罩技术允许 制作具有不同透光度与灰度之灰阶分布，因此可借由灰阶与透 光率之掌控一次完成光学微影制程，节省制程耗...
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