...火流量比拟、工艺腔加暖台温度设订比拟等）收现工艺腔加暖台温度第一片硅片和最初一片硅片亡反在好同，当用温测硅片（TC wafer）测量收现出无同硅片间无20℃以上的好同。
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温测硅片
Temperature measuring silicon wafer
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