本文采用PECVD技术制备出的高折射率薄膜材料氮化硅(SiNx)、高激光损伤阈值薄膜材料氧化硅(SiOx)以及低折射率薄膜材料含氟氧化硅(SiOxFy)作为激光高反膜制备需要的薄膜材料,研究了SiNx材料、SiOx材料和SiOxFy材料的最佳制备工艺...
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相比之下，其他硅基阳极锂离子电池技术使用硅纳米线或硅纳米颗粒，难以实现大规模生产且成本高昂；而其他使用氧化硅(SiO)作为石墨阳极微量添加剂的技术无法实现足够的性能改进。
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氧化硅(Silicon oxide)是目前最常见的绝缘材料，运用在几乎所有的CMOS芯片中；该种材料在1960年代首度特征化，工程师会刻意将氧化硅沉积出厚度，以避免...
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合肥工业大学学报杂志社 关键词:光学性能； 氧化硅； 光活性； 缺陷中心 [gap=1067]Key words:optical property; silicon dioxide; optical activity; defect center
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一氧化硅 [无化] silicon monoxide ; SiO ; Silicon oxide
二氧化硅 [无化] silica ; SiO ; silicon oxide
氮氧化硅 SiON ; SiOxNy ; SiNxOy
游离二氧化硅 free silicon dioxide ; freesillica ; free silica
气相二氧化硅 Fumed Silica ; gel amorphous silica ; pyrogenic silica
金属氧化氮氧化硅 MONOS
天然二氧化硅 native silicon dioxide ; [无化] natural silica
Herein, we have tried to synthesize silicon oxide materials using kettle as equipment.
因而我们尝试了采用高压釜制备氧化硅纳米材料。
参考来源 - 高压釜制备线状和网状纳米氧化硅及其光致发光·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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