金属有机化学气相淀积 MOCVD ; Metal-organic Chemical Vapor Deposition
机化学气相淀积
Mechanical chemical vapor deposition
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仿真和实验表明，这种复合控制的方法能有效地改善金属有机化合物化学气相淀积系统温度的控制性能。
The results of the imitation experiments show that the method of the compound control can be used to improve the control performance of the system temperature for MOCVD effectively.
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