无应力加热 stress free heating
无热应力
Free of thermal stress
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对有钝化层与无钝化层的铝互连线的热应力进行了数值模拟，并建立起互连线的二维有限元模型。
Two-dimensional finite element modeling was used to simulate the thermal stress in unpassivated and passivated aluminum thin film interconnects.
youdao
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