FEAS已通过一种新的制造方法，该方法包括两步的小费蚀刻和旋涂玻璃（SOG）的回蚀工艺使用双层热/原硅酸四乙酯（TEOS）作为栅介电层的氧化物。可以制作一个小门孔与低闸极漏电流的过程。
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旋涂玻璃(Spin on Glass)是二层金属联机制程最常使用的平坦化技术，其平坦化距离仅及10微米长。
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旋涂玻璃法 spin-on glass ; SOG
有一旋涂玻璃 spin-on glass ; SOG
用旋涂玻璃法 spin-on glass ; SOG
旋涂式玻璃 SOG ; spin-on glass
旋涂式玻璃层 spin-on glass ; SOG
用旋涂式玻璃 spin-on glass ; SOG
一旋涂式玻璃层 spin on glass ; SOG
旋涂式玻璃法 spin-on glass ; SOG
以采用旋涂式玻璃 spin-on glass ; SOG
旋涂玻璃
Spin glazing
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