• torsion micro mirror - 引用次数：5

  In the thesis, three methods of semi-analytic macro modeling compatible with different terms are studied and realized to solve the questions of typical MEMS devices such as the torsion micro mirror, fixed-fixed micro beam, capacitive pressure sensor, etc.

  论文结合扭转微镜、微梁、电容式压力传感器等典型MEMS器件对三种宏建模方法的适应性和有效性进行了分析。

  参考来源 - 面向器件行为的MEMS宏建模方法研究
  torsion micromirror - 引用次数：2

  参考来源 - 硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究
• torsional micro-mirror - 引用次数：1

  参考来源 - 基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究
• torsion micromirror - 引用次数：1

  参考来源 - 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 Novel MEMS Torsion Micromirror with Compound Driving Structures
  torsion-mirror - 引用次数：1

  参考来源 - 具有光纤自定位保持结构的2×2扭转微镜光开关阵列的制作和机电特性 Fabrication and Electromechanical Characteristics of 2×2 Torsion

·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress