相较减成法采用化学原理，部分加成法布线基本上是利用光微影技术(Photolithography)，因此，后者形成的布线宽度较符合当初设计。
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patterning or lithography
微影技术(patterning or lithography)问题：光学波长微缩的速度跟不上IC尺寸微缩的速度。目前的解决方案.
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Computational Lithography
...16奈米以下的先进制程，所以在22奈米及其15奈米半制程（half-node），将计划暂时采用运算微影技术（Computational Lithography）。
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短语
软微影技术
soft lithography
电子束微影技术
e-beam lithography
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Electron Beam Projection Lithography
奈米微影技术
nanolithography
光微影技术
Photolithography
奈米干式微影技术
dry lithography