• sheet resistance of micro-area - 引用次数：4

  参考来源 - 结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究
  the micro area thin layer resistance - 引用次数：1

  参考来源 - 大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究
  micro-area sheet resistance - 引用次数：1

  参考来源 - 用四探针法测试硅片微区薄层电阻的稳定性研究

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