开发品对轴承部分的吹气构造作了改进,高速旋转时(2万rpm)的异步振摆精度值(NRRO)控制在了0.005μm以下(实际测量值),为原来的1/2,系“业界最高”(该公司)。
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异步振摆精度值
Precision value of asynchronous oscillation
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