台积电的FinFET在这条走廊上还使用了应变硅晶（strained silicon）的技术，在外表薄薄一层的硅结晶中加入了3-5族原素的杂质一同结晶，由于3-5族晶格较大，所以会对靠近表层（很不巧也就是形成通道...
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成应变硅晶片 strained silicon wafer
效能的应变硅晶 Silicon strains
应变硅晶
Strained silicon crystal
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本文主要研究应变硅空穴各机制散射几率及空穴迁移率与晶向、应力的理论关系。
The main work is focused on models of hole scattering mechanisms and hole mobility which is related to the crystal orientations and stress of strained Si.
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