多晶矽锗 ( poly-SiGe )的相关研究 则开始于 90 年代初期,主要是沈积于表面绝缘的基板上,如玻璃或 热氧化层(thermal oxide),由于沈积条件不若磊晶薄...
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多晶矽锗
Polycrystalline silicon germanium
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